TENCAN cung cấp sản phẩm bán dẫn và OLED Hệ thống hộp găng tay không khí được kiểm soát được phát triển và sản xuất hàng loạt bằng perovskite giúp khách hàng đạt được môi trường xử lý ít oxy, ít hạt, ổn định và có thể kiểm soát được, đồng thời cung cấp hỗ trợ tích hợp từ phòng thí nghiệm đến sản xuất thử nghiệm và sản xuất hàng loạt để sản xuất các vật liệu nhạy cảm và thiết bị chính xác.
Chất bán dẫn, OLED và vật liệu perovskite cực kỳ nhạy cảm với độ ẩm và oxy, đồng thời, một lượng nhỏ chất gây ô nhiễm có thể dẫn đến suy giảm hiệu suất, hư hỏng bao bì hoặc rút ngắn tuổi thọ.
Ô nhiễm hạt, chất hữu cơ và ion kim loại sẽ ảnh hưởng đến tính đồng nhất của màng, chất lượng bề mặt và hiệu suất điện, đồng thời phải được kiểm soát trong phạm vi sạch và có thể theo dõi được.
Sự dao động về nhiệt độ và độ ẩm, rò rỉ khí quyển và thông gió không đều sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến tính nhất quán và khả năng tái tạo của quá trình lắng đọng, bay hơi, đóng gói và thử nghiệm.
Từ hoạt động R&D đến sản xuất hàng loạt, thiết bị đòi hỏi độ ổn định, khả năng truy xuất nguồn gốc và tính nhất quán theo từng lô cao hơn, đồng thời chi phí xác minh và bảo trì cũng tăng lên.
Việc vận hành khí trơ, mô-đun chân không và các vật liệu nhạy cảm đòi hỏi phải tính đến việc bịt kín hệ thống, bảo vệ an toàn, hiệu quả vận hành và bảo trì cũng như các yêu cầu tiêu chuẩn ngành.
Duy trì điểm sương ổn định ≤ -80oC và hàm lượng oxy ≤ 0,1 ppm, ức chế hiệu quả sự phân hủy và phản ứng phụ của nước và oxy trên các vật liệu nhạy cảm.
Hỗ trợ kiểm soát độ sạch ISO Cấp 3 để giảm ô nhiễm hạt và hữu cơ, đồng thời đảm bảo hiệu suất và tính nhất quán của thiết bị.
Đóng gói và niêm phong hoàn chỉnh trong môi trường trơ để ngăn chặn sự xâm nhập của nước và oxy, kéo dài tuổi thọ thiết bị và cải thiện độ ổn định.
Hỗ trợ tích hợp trực tuyến các thiết bị bay hơi, đo lường, ALD, làm sạch, kiểm tra và các thiết bị khác để tạo thành một giải pháp quy trình hoàn chỉnh.
Kiểm soát chính xác áp suất, thời gian trao đổi không khí và độ tinh khiết của khí để đảm bảo rằng quy trình có thể lặp lại, có thể truy nguyên và tối ưu hóa.
TENCAN cung cấp các hệ thống hộp găng tay tùy chỉnh và dịch vụ tích hợp quy trình để giúp khách hàng trong lĩnh vực bán dẫn, OLED và perovskite đạt được năng suất cao hơn cũng như quá trình lặp lại hoạt động R&D nhanh hơn.
Cung cấp các giải pháp cấu hình hệ thống hộp găng tay hiệu quả và đáng tin cậy cho các tình huống ứng dụng khác nhau, hỗ trợ triển khai ở nhiều cấp độ từ nghiên cứu và phát triển trong phòng thí nghiệm đến thử nghiệm thí điểm và sản xuất hàng loạt.
| Các kịch bản ứng dụng | Chất bán dẫn Quy trình và đóng gói có độ tinh khiết cao |
OLED Sự bay hơi và đóng gói |
Perovskit R&D và thử nghiệm thí điểm |
|---|---|---|---|
| Quy trình điển hình | Bao bì wafer / MEMS / thiết bị điện | Thử nghiệm bay hơi / đóng gói / thiết bị | Thử nghiệm tổng hợp vật liệu/chuẩn bị thiết bị/đóng gói |
| Hàm lượng oxy (O₂) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Hàm lượng nước (H₂O) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 1 ppm |
| Điểm sương | ≤ -80 ℃ | ≤ -80 ℃ | ≤ -60 ℃ |
| Hệ thống lọc tuần hoàn | Loại bỏ oxy và nước hiệu quả | Loại bỏ oxy và nước hiệu quả | Loại bỏ oxy và nước tiêu chuẩn |
| Áp suất hệ thống | +10 ~ +30 Pa | +5 ~ +20 Pa | +5 ~ +20 Pa |
| Các mẫu được đề xuất | Dòng TG-SEM | Dòng TG-OLED | Dòng TG-PSC |
| Các mô-đun tùy chọn | Cabin vận chuyển chân không/cabin vận chuyển nhanh | Giao diện bay hơi/bay hơi chùm tia điện tử | Mô-đun phủ quay/xử lý dung dịch |
| Tỷ lệ áp dụng | Sản xuất hàng loạt/thử nghiệm thí điểm | Sản xuất hàng loạt/thử nghiệm thí điểm | R&D/quy mô thí điểm |
Chúng tôi có thể cung cấp các giải pháp cấu hình và thiết kế hệ thống được cá nhân hóa dựa trên yêu cầu quy trình, điều kiện địa điểm và ngân sách, đồng thời hỗ trợ tùy chỉnh phi tiêu chuẩn và mở rộng mô-đun.
Liên hệ với chúng tôi để có giải pháp tùy chỉnh
Tạo nền tảng đóng gói cấp chip trong môi trường ít nước và oxy cho công ty đóng gói đứng đầu để đạt được các điều kiện quy trình ổn định và độ đồng nhất cao hơn của thành phẩm.
Xem chi tiết
Tích hợp các đơn vị quy trình như bay hơi, đóng gói và thử nghiệm lão hóa, đồng thời tương thích với các chất nền nhiều kích thước để đáp ứng nhu cầu sản xuất hàng loạt của các thiết bị hiển thị cao cấp.
Xem chi tiết
Cung cấp môi trường trơ ổn định và có thể kiểm soát cho hoạt động R&D và thử nghiệm thí điểm pin perovskite, đồng thời hỗ trợ phát triển các quy trình chính như phủ quay, ủ và đóng gói.
Xem chi tiết
Được sử dụng để nghiên cứu các vật liệu như pin lithium/chất điện phân rắn/tiền chất hữu cơ kim loại, cung cấp lượng oxy trong nước cực thấp và môi trường thí nghiệm có độ sạch cao.
Xem chi tiếtHãy cho chúng tôi biết ứng dụng, kích thước buồng, chỉ tiêu H2O/O2 hoặc yêu cầu tích hợp của bạn; các kỹ sư của chúng tôi sẽ đề xuất cấu hình phù hợp.
