TENCAN は半導体および OLED 向けの製品を提供します ペロブスカイトを使用して開発および量産された雰囲気制御グローブ ボックス システムは、顧客が低水酸素、低粒子、安定かつ制御可能なプロセス環境を実現するのに役立ち、敏感な材料や精密デバイスの製造において、実験室からパイロットおよび量産までの統合的なサポートを提供します。
半導体、OLED、ペロブスカイト材料は湿気や酸素に非常に敏感で、微量の汚染により性能の低下、パッケージングの欠陥、または寿命の短縮につながる可能性があります。
粒子、有機物、金属イオンの汚染は、膜の均一性、界面の品質、電気的性能に影響を与えるため、クリーンで追跡可能な範囲内で管理する必要があります。
温度と湿度の変動、雰囲気の漏れ、不均一な換気は、蒸着、蒸発、パッケージング、テストの一貫性と再現性に直接影響します。
研究開発から量産まで、装置にはより高い安定性、トレーサビリティ、バッチ間の一貫性が求められ、検証やメンテナンスのコストも増加します。
不活性ガス、真空モジュール、および敏感な材料の操作には、システムの密閉、安全保護、操作とメンテナンスの効率、および業界標準の要件を考慮する必要があります。
安定した露点 ≤ -80 ℃ と酸素含有量 ≤ 0.1 ppm を維持し、敏感な素材における水と酸素の劣化と副反応を効果的に抑制します。
ISO クラス 3 の清浄度管理をサポートし、粒子や有機汚染を低減し、デバイスの歩留まりと一貫性を確保します。
不活性雰囲気中でパッケージングと密封を完了し、水と酸素の侵入をブロックし、デバイスの寿命を延ばし、安定性を向上させます。
完全なプロセス ソリューションを形成するための、蒸着、測定、ALD、洗浄、テスト、その他の機器のオンライン統合をサポートします。
圧力、空気交換時間、ガス純度を正確に制御して、プロセスの再現性、追跡性、最適化を確保します。
TENCAN は、カスタマイズされたグローブ ボックス システムとプロセス統合サービスを提供し、半導体、OLED、ペロブスカイト分野の顧客がより高い収率とより迅速な研究開発反復を達成できるよう支援します。
さまざまなアプリケーション シナリオに効率的で信頼性の高いグローブ ボックス システム構成ソリューションを提供し、研究室での研究開発からパイロット テストおよび量産までのマルチレベルの展開をサポートします。
| アプリケーション シナリオ | 半導体 高純度のプロセスとパッケージング |
OLED 蒸発とパッケージング |
ペロブスカイト 研究開発とパイロット テスト |
|---|---|---|---|
| 一般的なプロセス | ウェーハパッケージング / MEMS / パワーデバイス | 蒸着 / パッケージング / デバイスのテスト | 材料合成/デバイス準備/パッケージングテスト |
| 酸素含有量 (O₂) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 水分含有量 (H₂O) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 1 ppm |
| 露点 | ≤ -80 ℃ | ≤ -80 ℃ | ≤ -60 ℃ |
| 循環浄化システム | 効率的な酸素と水分の除去 | 効率的な酸素と水分の除去 | 標準的な酸素と水分の除去 |
| システム圧力 | +10 ~ +30 Pa | +5 ~ +20 Pa | +5 ~ +20 Pa |
| 推奨モデル | TG-SEM シリーズ | TG-OLED シリーズ | TG-PSC シリーズ |
| オプションのモジュール | 真空搬送/高速搬送キャビン | 蒸着界面/電子ビーム蒸着 | 溶液処理/スピン コーティング モジュール |
| 適用可能なスケール | 量産/パイロットトライアル | 量産/パイロットトライアル | 研究開発/試験規模 |
当社は、プロセス要件、現場の条件、予算に基づいてパーソナライズされたシステム設計と構成ソリューションを提供し、非標準のカスタマイズとモジュール拡張をサポートします。
カスタマイズされたソリューションについてはお問い合わせください
ヘッドパッケージング会社が、安定したプロセス条件と最終製品のより高い一貫性を達成するために、低水分および低酸素環境でチップレベルのパッケージングプラットフォームを構築します。
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ペロブスカイト電池の研究開発とパイロット テストに安定した制御可能な不活性環境を提供し、スピン コーティング、アニーリング、パッケージングなどの主要プロセスの開発をサポートします。
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用途、チャンバー寸法、H2O/O2指標、または統合要件をお知らせください。エンジニアが選定をご提案します。
