TENCAN fornece produtos para semicondutores e OLEDs O sistema de porta-luvas de atmosfera controlada desenvolvido e produzido em massa com perovskita ajuda os clientes a obter um ambiente de processo com baixo teor de oxigênio em água, baixo teor de partículas, estável e controlável, e fornece suporte integrado do laboratório ao piloto e à produção em massa para a fabricação de materiais sensíveis e dispositivos de precisão.
Semicondutores, OLEDs e materiais de perovskita são extremamente sensíveis à umidade e ao oxigênio, e vestígios de contaminação podem levar à degradação do desempenho, falha na embalagem ou redução da vida útil.
A contaminação por partículas, matéria orgânica e íons metálicos afetará a uniformidade do filme, a qualidade da interface e o desempenho elétrico e deve ser controlada dentro de uma faixa limpa e rastreável.
Flutuações de temperatura e umidade, vazamentos na atmosfera e ventilação irregular afetarão diretamente a consistência e reprodutibilidade da deposição, evaporação, embalagem e testes.
Da pesquisa e desenvolvimento à produção em massa, os equipamentos exigem maior estabilidade, rastreabilidade e consistência entre lotes, e os custos de verificação e manutenção também aumentam.
A operação de gás inerte, módulos de vácuo e materiais sensíveis exige a consideração da vedação do sistema, proteção de segurança, eficiência de operação e manutenção e requisitos padrão da indústria.
Mantenha o ponto de orvalho estável ≤ -80 ℃ e o teor de oxigênio ≤ 0,1 ppm, inibindo efetivamente a degradação e as reações colaterais da água e do oxigênio em materiais sensíveis.
Suporta o controle de limpeza ISO Classe 3 para reduzir a contaminação orgânica e de partículas e garantir o rendimento e a consistência do dispositivo.
Embalagem e vedação completas em uma atmosfera inerte para bloquear a entrada de água e oxigênio, prolongar a vida útil do dispositivo e melhorar a estabilidade.
Suporta integração on-line de evaporação, medição, ALD, limpeza, testes e outros equipamentos para formar uma solução de processo completa.
Controle com precisão a pressão, os tempos de troca de ar e a pureza do gás para garantir que o processo seja repetível, rastreável e otimizável.
TENCAN fornece sistemas de porta-luvas personalizados e serviços de integração de processos para ajudar os clientes nos campos de semicondutores, OLED e perovskita a obter rendimentos mais elevados e iterações de P&D mais rápidas.
Forneça soluções de configuração de sistema de porta-luvas eficientes e confiáveis para diferentes cenários de aplicação, apoiando a implantação em vários níveis, desde pesquisa e desenvolvimento em laboratório até testes piloto e produção em massa.
| Cenários de aplicação | Semicondutor Processo e embalagem de alta pureza |
OLED Evaporação e embalagem |
Perovskita P&D e testes piloto |
|---|---|---|---|
| Processo típico | Embalagem de wafer/MEMS/dispositivos de energia | Evaporação/embalagem/teste de dispositivo | Síntese de material/preparação de dispositivo/teste de embalagem |
| Conteúdo de oxigênio (O₂) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Conteúdo de água (H₂O) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 1 ppm |
| Ponto de orvalho | ≤ -80 ℃ | ≤ -80 ℃ | ≤ -60 ℃ |
| Sistema de purificação de circulação | Remoção eficiente de oxigênio e água | Remoção eficiente de oxigênio e água | Remoção padrão de oxigênio e água |
| Pressão do sistema | +10 ~ +30 Pa | +5 ~ +20 Pa | +5 ~ +20 Pa |
| Modelos recomendados | Série TG-SEM | Série TG-OLED | Série TG-PSC |
| Módulos opcionais | Cabana de transferência a vácuo/transferência rápida | Interface de evaporação/evaporação por feixe de elétrons | Módulo de processamento de solução/revestimento giratório |
| Escala aplicável | Produção em massa/teste piloto | Produção em massa/teste piloto | P&D/escala piloto |
Podemos fornecer soluções personalizadas de projeto e configuração de sistemas com base nos requisitos do processo, nas condições do local e no orçamento, além de oferecer suporte à personalização fora do padrão e à expansão modular.
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Criar uma plataforma de embalagem em nível de chip em um ambiente com baixo teor de água e oxigênio para que uma empresa de embalagem principal alcance condições de processo estáveis e maior consistência dos produtos acabados.
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Integre unidades de processo, como evaporação, embalagem e testes de envelhecimento, e seja compatível com substratos de vários tamanhos para atender às necessidades de produção em massa de dispositivos de exibição de última geração.
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Fornecer um ambiente inerte estável e controlável para pesquisa e desenvolvimento de baterias de perovskita e testes piloto, e apoiar o desenvolvimento de processos-chave, como revestimento giratório, recozimento e embalagem.
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Usado para pesquisa de materiais como baterias de lítio/eletrólitos sólidos/precursores metálicos orgânicos, proporcionando baixíssimo oxigênio na água e ambiente experimental de alta limpeza.
Ver detalhesInforme a sua aplicação, o tamanho da câmara, as especificações de H2O/O2 ou os requisitos de integração; os nossos engenheiros recomendarão uma configuração adequada.
