TENCAN은 반도체 및 OLED용 제품을 제공합니다. 페로브스카이트로 개발 및 양산된 대기 제어 글러브 박스 시스템은 고객이 저수분산소, 저입자, 안정적이고 제어 가능한 공정 환경을 달성하도록 돕고, 민감한 재료 및 정밀 장치 제조를 위한 실험실부터 파일럿 및 대량 생산까지 통합 지원을 제공합니다.
반도체, OLED, 페로브스카이트 소재는 수분과 산소에 매우 민감하며, 미량의 오염으로 인해 성능 저하, 패키징 실패 또는 수명 단축이 발생할 수 있습니다.
입자, 유기물 및 금속 이온 오염은 필름 균일성, 인터페이스 품질 및 전기 성능에 영향을 미치므로 깨끗하고 추적 가능한 범위 내에서 제어되어야 합니다.
온도 및 습도 변동, 대기 누출 및 고르지 못한 환기는 증착, 증발, 포장 및 테스트의 일관성과 재현성에 직접적인 영향을 미칩니다.
R&D부터 대량 생산까지 장비에는 더 높은 안정성, 추적성, 배치 간 일관성이 요구되며 검증 및 유지 관리 비용도 증가합니다.
불활성 가스, 진공 모듈 및 민감한 물질을 작동하려면 시스템 밀봉, 안전 보호, 작동 및 유지 관리 효율성, 업계 표준 요구 사항을 고려해야 합니다.
안정적인 이슬점 ≤ -80℃ 및 산소 함량 ≤ 0.1ppm을 유지하여 민감한 물질의 물과 산소의 분해 및 부반응을 효과적으로 억제합니다.
ISO 클래스 3 청정도 제어를 지원하여 입자 및 유기 오염을 줄이고 장치 수율과 일관성을 보장합니다.
불활성 대기에서 완벽한 포장 및 밀봉을 통해 물과 산소 침입을 차단하고 장치 수명을 연장하며 안정성을 향상시킵니다.
완벽한 프로세스 솔루션을 형성하기 위해 증발, 측정, ALD, 세척, 테스트 및 기타 장비의 온라인 통합을 지원합니다.
압력, 공기 교환 시간, 가스 순도를 정밀하게 제어하여 프로세스의 반복, 추적 및 최적화가 가능하도록 하세요.
TENCAN은 반도체, OLED, 페로브스카이트 분야 고객이 더 높은 수율과 더 빠른 R&D 반복을 달성할 수 있도록 맞춤형 글러브 박스 시스템과 프로세스 통합 서비스를 제공합니다.
다양한 응용 시나리오에 효율적이고 안정적인 글러브 박스 시스템 구성 솔루션을 제공하여 실험실 연구 및 개발부터 파일럿 테스트 및 대량 생산에 이르기까지 다단계 배포를 지원합니다.
| 애플리케이션 시나리오 | 반도체 고순도 공정 및 포장 |
OLED 증발 및 포장 |
페로브스카이트 R&D 및 파일럿 테스트 |
|---|---|---|---|
| 일반적인 프로세스 | 웨이퍼 패키징/MEMS/전력소자 | 증발/포장/기기 테스트 | 재료 합성/장치 준비/포장 테스트 |
| 산소 함량(O₂) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 수분 함량(H2O) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 1 ppm |
| 이슬점 | ≤ -80 ℃ | ≤ -80 ℃ | ≤ -60 ℃ |
| 순환 정화 시스템 | 효율적인 산소 및 수분 제거 | 효율적인 산소 및 수분 제거 | 표준 산소 및 수분 제거 |
| 시스템 압력 | +10 ~ +30 Pa | +5 ~ +20 Pa | +5 ~ +20 Pa |
| 추천 모델 | TG-SEM 시리즈 | TG-OLED 시리즈 | TG-PSC 시리즈 |
| 선택 모듈 | 진공 환승/신속 환승 캐빈 | 증발 인터페이스/전자빔 증발 | 용액 처리/스핀 코팅 모듈 |
| 적용 규모 | 대량 생산/시범 시험 | 대량 생산/시범 시험 | R&D/파일럿 규모 |
우리는 프로세스 요구 사항, 현장 조건 및 예산을 기반으로 개인화된 시스템 설계 및 구성 솔루션을 제공하고 비표준 사용자 정의 및 모듈 확장을 지원할 수 있습니다.
맞춤형 솔루션을 원하시면 당사에 문의하세요
주요 포장 회사가 안정적인 공정 조건과 완제품의 높은 일관성을 달성할 수 있도록 낮은 물과 산소 환경에서 칩 수준 포장 플랫폼을 만듭니다.
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증발, 패키징, 노화 테스트 등의 공정 장치를 통합하고 다양한 크기의 기판과 호환되어 고급 디스플레이 장치의 대량 생산 요구 사항을 충족합니다.
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페로브스카이트 배터리 R&D 및 파일럿 테스트를 위한 안정적이고 제어 가능한 비활성 환경을 제공하고 스핀 코팅, 어닐링, 패키징과 같은 핵심 프로세스 개발을 지원합니다.
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적용 분야, 챔버 크기, H2O/O2 기준 또는 통합 요구 사항을 알려 주시면 엔지니어가 적합한 구성을 제안해 드립니다.
