TENCAN bietet Produkte für Halbleiter und OLEDs Das mit Perowskit entwickelte und massenproduzierte Glovebox-System mit kontrollierter Atmosphäre hilft Kunden dabei, eine stabile und kontrollierbare Prozessumgebung mit niedrigem Wasser-Sauerstoff-Gehalt und wenig Partikeln zu erreichen, und bietet integrierte Unterstützung vom Labor bis zur Pilot- und Massenproduktion für die Herstellung empfindlicher Materialien und Präzisionsgeräte.
Halbleiter, OLEDs und Perowskit-Materialien reagieren äußerst empfindlich auf Feuchtigkeit und Sauerstoff, und Spuren von Verunreinigungen können zu Leistungseinbußen, Verpackungsfehlern oder einer verkürzten Lebensdauer führen.
Verunreinigung durch Partikel, organische Stoffe und Metallionen wirkt sich auf die Gleichmäßigkeit des Films, die Schnittstellenqualität und die elektrische Leistung aus und muss innerhalb eines sauberen und rückverfolgbaren Bereichs kontrolliert werden.
Temperatur- und Feuchtigkeitsschwankungen, Atmosphärenlecks und ungleichmäßige Belüftung wirken sich direkt auf die Konsistenz und Reproduzierbarkeit der Abscheidung, Verdampfung, Verpackung und Prüfung aus.
Von der Forschung und Entwicklung bis zur Massenproduktion erfordern Geräte eine höhere Stabilität, Rückverfolgbarkeit und Konsistenz von Charge zu Charge, und auch die Kosten für Überprüfung und Wartung steigen.
Der Betrieb von Inertgas-, Vakuummodulen und empfindlichen Materialien erfordert die Berücksichtigung von Systemabdichtung, Sicherheitsschutz, Betriebs- und Wartungseffizienz sowie branchenüblichen Anforderungen.
Halten Sie einen stabilen Taupunkt ≤ -80 ℃ und einen Sauerstoffgehalt ≤ 0,1 ppm aufrecht und verhindern Sie so wirksam den Abbau und die Nebenreaktionen von Wasser und Sauerstoff auf empfindlichen Materialien.
Unterstützt die Reinheitskontrolle der ISO-Klasse 3, um Partikel- und organische Verunreinigungen zu reduzieren und die Geräteausbeute und -konsistenz sicherzustellen.
Vollständige Verpackung und Versiegelung in einer inerten Atmosphäre, um das Eindringen von Wasser und Sauerstoff zu verhindern, die Lebensdauer des Geräts zu verlängern und die Stabilität zu verbessern.
Unterstützt die Online-Integration von Verdampfungs-, Mess-, ALD-, Reinigungs-, Test- und anderen Geräten zu einer vollständigen Prozesslösung.
Kontrollieren Sie Druck, Luftwechselzeiten und Gasreinheit präzise, um sicherzustellen, dass der Prozess wiederholbar, nachvollziehbar und optimierbar ist.
TENCAN bietet maßgeschneiderte Handschuhboxsysteme und Prozessintegrationsdienste, um Kunden in den Bereichen Halbleiter, OLED und Perowskit dabei zu helfen, höhere Erträge und schnellere F&E-Iterationen zu erzielen.
Bieten Sie effiziente und zuverlässige Konfigurationslösungen für Handschuhfachsysteme für verschiedene Anwendungsszenarien und unterstützen Sie den mehrstufigen Einsatz von Laborforschung und -entwicklung bis hin zu Pilottests und Massenproduktion.
| Anwendungsszenarien | Halbleiter Hochreiner Prozess und Verpackung |
OLED Verdunstung und Verpackung |
Perowskit F&E und Pilottests |
|---|---|---|---|
| Typischer Prozess | Wafer-Verpackung / MEMS / Leistungsgeräte | Verdampfung/Verpackung/Geräteprüfung | Materialsynthese/Gerätevorbereitung/Verpackungstests |
| Sauerstoffgehalt (O₂) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Wassergehalt (H₂O) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 1 ppm |
| Taupunkt | ≤ -80 ℃ | ≤ -80 ℃ | ≤ -60 ℃ |
| Kreislaufreinigungssystem | Effiziente Sauerstoff- und Wasserentfernung | Effiziente Sauerstoff- und Wasserentfernung | Standard-Sauerstoff- und Wasserentfernung |
| Systemdruck | +10 ~ +30 Pa | +5 ~ +20 Pa | +5 ~ +20 Pa |
| Empfohlene Modelle | TG-SEM-Serie | TG-OLED-Serie | TG-PSC-Serie |
| Optionale Module | Vakuumtransfer/Schnelltransferkabine | Verdampfungsschnittstelle/Elektronenstrahlverdampfung | Lösungsverarbeitungs-/Spin-Coating-Modul |
| Anwendbarer Maßstab | Massenproduktion/Pilotversuch | Massenproduktion/Pilotversuch | F&E/Pilotmaßstab |
Wir können personalisierte Systemdesign- und Konfigurationslösungen basierend auf Prozessanforderungen, Standortbedingungen und Budget bereitstellen und nicht standardmäßige Anpassungen und modulare Erweiterungen unterstützen.
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Erstellen Sie eine Verpackungsplattform auf Chip-Ebene in einer wasser- und sauerstoffarmen Umgebung für ein Hauptverpackungsunternehmen, um stabile Prozessbedingungen und eine höhere Konsistenz der Endprodukte zu erreichen.
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Integrieren Sie Prozesseinheiten wie Verdampfung, Verpackung und Alterungstests und sind mit Substraten verschiedener Größen kompatibel, um den Massenproduktionsanforderungen von High-End-Anzeigegeräten gerecht zu werden.
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Stellen Sie eine stabile und kontrollierbare inerte Umgebung für die Forschung und Entwicklung von Perowskit-Batterien sowie für Pilottests bereit und unterstützen Sie die Entwicklung wichtiger Prozesse wie Schleuderbeschichtung, Tempern und Verpackung.
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Wird für die Forschung an Materialien wie Lithiumbatterien/Festelektrolyten/metallorganischen Vorläufern verwendet und bietet eine experimentelle Umgebung mit extrem niedrigem Wassersauerstoffgehalt und hoher Sauberkeit.
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