TENCAN предоставляет продукцию для полупроводников и органических светодиодов Система перчаточных боксов с контролируемой атмосферой, разработанная и серийно производимая с использованием перовскита, помогает клиентам добиться стабильной и контролируемой технологической среды с низким содержанием воды, кислорода и твердых частиц, а также обеспечивает комплексную поддержку от лаборатории до пилотного и массового производства для производства чувствительных материалов и прецизионных устройств.
Полупроводники, органические светодиоды и перовскитные материалы чрезвычайно чувствительны к влаге и кислороду, а незначительное количество загрязнений может привести к ухудшению характеристик, выходу из строя упаковки или сокращению срока службы.
Загрязнение частицами, органическими веществами и ионами металлов влияет на однородность пленки, качество интерфейса и электрические характеристики и должно контролироваться в пределах чистого и отслеживаемого диапазона.
Колебания температуры и влажности, утечка атмосферы и неравномерная вентиляция напрямую влияют на последовательность и воспроизводимость осаждения, испарения, упаковки и испытаний.
От НИОКР до массового производства оборудование требует более высокой стабильности, отслеживаемости и согласованности от партии к партии, а затраты на проверку и обслуживание также возрастают.
Эксплуатация инертного газа, вакуумных модулей и чувствительных материалов требует учета герметизации системы, защиты, эффективности эксплуатации и технического обслуживания, а также требований отраслевых стандартов.
Поддерживает стабильную точку росы ≤ -80 ℃ и содержание кислорода ≤ 0,1 ppm, эффективно подавляя разложение и побочные реакции воды и кислорода на чувствительных материалах.
Поддерживает контроль чистоты класса 3 по стандарту ISO для снижения загрязнения частицами и органическими веществами и обеспечения производительности и стабильности устройства.
Полная упаковка и герметизация в инертной атмосфере для предотвращения проникновения воды и кислорода, продления срока службы устройства и повышения стабильности.
Поддерживает онлайн-интеграцию оборудования для испарения, измерения, ALD, очистки, тестирования и другого оборудования для формирования комплексного технологического решения.
Точно контролируйте давление, время воздухообмена и чистоту газа, чтобы обеспечить повторяемость, отслеживаемость и оптимизацию процесса.
TENCAN предоставляет индивидуальные системы перчаточных боксов и услуги по интеграции процессов, чтобы помочь клиентам в области полупроводников, органических светодиодов и перовскитов добиться более высокой производительности и ускорения исследований и разработок.
Предоставьте эффективные и надежные решения по настройке системы перчаточных боксов для различных сценариев применения, поддерживая многоуровневое развертывание — от лабораторных исследований и разработок до пилотных испытаний и массового производства.
| Сценарии применения | Полупроводник Процесс и упаковка высокой чистоты |
OLED Выпаривание и упаковка |
Перовскит НИОКР и пилотное тестирование |
|---|---|---|---|
| Типичный процесс | Беспроводная упаковка/МЭМС/силовые устройства | Испарение/упаковка/тестирование устройства | Синтез материала/подготовка устройства/испытание упаковки |
| Содержание кислорода (O₂) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Содержание воды (H₂O) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 1 ppm |
| Точка росы | ≤ -80 ℃ | ≤ -80 ℃ | ≤ -60 ℃ |
| Система циркуляционной очистки | Эффективное удаление кислорода и воды | Эффективное удаление кислорода и воды | Стандартное удаление кислорода и воды |
| Давление в системе | +10 ~ +30 Pa | +5 ~ +20 Pa | +5 ~ +20 Pa |
| Рекомендуемые модели | Серия TG-SEM | Серия TG-OLED | Серия TG-PSC |
| Дополнительные модули | Кабина вакуумной передачи/быстрой передачи | Интерфейс испарения/электронно-лучевое испарение | Модуль обработки раствора/центрифугирования |
| Применимый масштаб | Массовое производство/пилотное испытание | Массовое производство/пилотное испытание | НИОКР/пилотный масштаб |
Мы можем предоставить персонализированные решения по проектированию и настройке системы на основе технологических требований, условий объекта и бюджета, а также поддерживать нестандартную настройку и модульное расширение.
Свяжитесь с нами для получения индивидуальных решений
Создайте упаковочную платформу на уровне чипов в среде с низким содержанием воды и кислорода для головной упаковочной компании, чтобы добиться стабильных технологических условий и более высокой консистенции готовой продукции.
Просмотреть подробности
Интегрируйте технологические блоки, такие как испытания на испарение, упаковку и старение, а также совместимость с подложками разных размеров для удовлетворения потребностей массового производства высококачественных устройств отображения.
Просмотреть подробности
Обеспечьте стабильную и контролируемую инертную среду для исследований, разработок и пилотных испытаний перовскитовых батарей, а также поддержите разработку ключевых процессов, таких как центрифугирование, отжиг и упаковка.
Просмотреть подробности
Используется для исследования таких материалов, как литиевые батареи/твердые электролиты/металлоорганические предшественники, обеспечивающие сверхнизкое содержание кислорода в воде и высокую чистоту экспериментальной среды.
Просмотреть подробностиРасскажите о вашей задаче, размере камеры, требованиях к H2O/O2 или интеграции, и наши инженеры предложат подходящую конфигурацию.
