أشباه الموصلات، OLEDs والبيروفسكايت
حل علبة القفازات ذات الجو المتحكم فيه

تحكم منخفض للغاية في الماء والأكسجين نظيف للغاية مستقر وموثوق إمكانية تتبع العملية

توفر TENCAN منتجات لأشباه الموصلات وشاشات OLED يساعد نظام صندوق القفازات ذو الغلاف الجوي المتحكم والذي تم تطويره وإنتاجه بكميات كبيرة باستخدام البيروفسكايت العملاء على تحقيق بيئة معالجة منخفضة الأكسجين والجسيمات ومستقرة ويمكن التحكم فيها، ويوفر دعمًا متكاملاً من المختبر إلى الإنتاج التجريبي والضخم لتصنيع المواد الحساسة والأجهزة الدقيقة.

أشباه الموصلات
OLED
البيروفسكايت

نقاط الضعف والتحديات في الصناعة

حساسية الماء والأكسجين

تعتبر أشباه الموصلات وشاشات OLED ومواد البيروفسكايت حساسة للغاية للرطوبة والأكسجين. يمكن أن تؤدي الكميات الضئيلة من التلوث إلى تدهور الأداء أو فشل التغليف أو تقصير العمر الافتراضي.

الجسيمات والتلوث

سيؤثر تلوث الجسيمات والمواد العضوية والأيونات المعدنية على تجانس الفيلم وجودة الواجهة والأداء الكهربائي، ويجب التحكم فيه ضمن نطاق نظيف ويمكن تتبعه.

بيئة العملية غير مستقرة

ستؤثر تقلبات درجة الحرارة والرطوبة وتسرب الغلاف الجوي والتهوية غير المتساوية بشكل مباشر على اتساق واستنساخ الترسيب والتبخر والتعبئة والاختبار.

النطاق والاتساق

بدءًا من البحث والتطوير وحتى الإنتاج الضخم، يتطلب الاستقرار وإمكانية التتبع والاتساق بين دفعات المعدات متطلبات أعلى، وتزداد أيضًا تكاليف التحقق والصيانة.

الامتثال والأمن

يتطلب تشغيل الغاز الخامل ووحدات التفريغ والمواد الحساسة الأخذ في الاعتبار إغلاق النظام وحماية السلامة وكفاءة التشغيل والصيانة والمتطلبات القياسية الصناعية.

متغيرات التحكم الرئيسية

نقطة الندى (H₂O)
≤ -80 ℃
قيمة نموذجية، تدعم التخصيص بمتطلبات أعلى
محتوى الأكسجين (O₂)
≤ 0.1 ppm
مناسب لإعداد المواد الحساسة وتعبئتها
النظافة
ISO Class 3
تكوين اختياري لمستوى نظافة أعلى
الضغط الإيجابي
+10 ~ +30 Pa
بالنسبة للخارج، تعديل جيد ومستقر
عدد فتحات التهوية
≥ 30 مرة/ساعة
قابل للتعديل مع مراعاة استهلاك الطاقة واستقرار الجو

عملية التقديم (خطوات العملية النموذجية)

سيناريو معالجة مادة أشباه الموصلات
01مواد شبه موصلة
وزن المواد الخام
الرقاقة / إعداد الركيزة
ترسيب الأغشية الرقيقة
الطباعة الحجرية/النقش
حفر/تنظيف
التغليف/الاختبار
سيناريو عملية تصنيع جهاز OLED
02تصنيع جهاز OLED
المعالجة الأساسية
ترسيب الأغشية الرقيقة
تبخر الطبقة العضوية
التغليف
اختبار الشيخوخة
مواد البيروفسكايت وسيناريوهات معالجة الأجهزة
03مواد وأجهزة البيروفسكايت
تحضير السلائف
تشكيل فيلم الطلاء الدوراني
معالجة التلدين
التغليف
اختبار الأداء

كيف تدعم أنظمة صندوق القفازات الحلول

بيئة منخفضة المياه ومنخفضة الأكسجين

الحفاظ على نقطة الندى المستقرة ≥ -80 ℃، ومحتوى الأكسجين ≥ 0.1 جزء في المليون، مما يمنع بشكل فعال التحلل والتفاعلات الجانبية للماء والأكسجين على المواد الحساسة.

بيئة إنتاج نظيفة

دعم التحكم في النظافة من الفئة ISO 3، وتقليل التلوث بالجسيمات والعضوية، وضمان إنتاجية الجهاز واتساقه.

مخطط مضيف نظام صندوق القفازات TENCAN
حماية تغليف الجهاز

التعبئة والتغليف الكامل والختم في جو خامل لمنع تسرب الماء والأكسجين، وإطالة عمر الجهاز وتحسين الاستقرار.

تكامل المعدات وتوصيلها

يدعم التكامل عبر الإنترنت لمعدات التبخر والقياس وALD والتنظيف والاختبار وغيرها من المعدات لتشكيل حل كامل للعملية.

العملية مستقرة ويمكن التحكم فيها

التحكم بدقة في الضغط وتكرار التهوية ونقاء الغاز لضمان تكرار العملية وإمكانية تتبعها وتحسينها.

من المواد إلى الأجهزة، حل جو خامل شامل

توفر TENCAN أنظمة صناديق القفازات المخصصة وخدمات تكامل العمليات لمساعدة العملاء في مجالات أشباه الموصلات وOLED والبيروفسكايت على تحقيق إنتاجية أعلى وتكرارات أسرع للبحث والتطوير.

تعرف على الحلول المخصصة

نظام التوصية وتكوينها

توفير حلول تكوين نظام صندوق القفازات تتسم بالكفاءة والموثوقية لسيناريوهات التطبيقات المختلفة، ودعم النشر متعدد المستويات بدءًا من البحث والتطوير في المختبر وحتى الاختبار التجريبي والإنتاج الضخم.

سيناريوهات التطبيق أشباه الموصلات
عملية وتعبئة عالية النقاء
OLED
التبخير والتعبئة
البيروفسكايت
البحث والتطوير والاختبار التجريبي
عملية نموذجية تعبئة الرقاقات/MEMS/أجهزة الطاقة اختبار التبخر/التعبئة/الجهاز اختبار تركيب المواد/إعداد الجهاز/التعبئة
محتوى الأكسجين (O₂) ≤ 0.1 ppm ≤ 0.1 ppm ≤ 0.5 ppm
محتوى الماء (H₂O) ≤ 0.1 ppm ≤ 0.1 ppm ≤ 1 ppm
نقطة الندى ≤ -80 ℃ ≤ -80 ℃ ≤ -60 ℃
نظام تنقية الدورة الدموية إزالة الأكسجين والماء بكفاءة إزالة الأكسجين والماء بكفاءة إزالة الأكسجين والماء القياسية
ضغط النظام +10 ~ +30 Pa +5 ~ +20 Pa +5 ~ +20 Pa
النماذج الموصى بها سلسلة TG-SEM سلسلة TG-OLED سلسلة TG-PSC
الوحدات الاختيارية كابينة النقل الفراغي/النقل السريع واجهة التبخر/تبخر شعاع الإلكترون وحدة معالجة المحلول/الطلاء الدوراني
المقياس المطبق الإنتاج الضخم / الاختبار التجريبي الإنتاج الضخم / الاختبار التجريبي اختبار البحث والتطوير/التجربة التجريبية
خدمات مخصصة

توفير تصميم نظام مخصص وخطط تكوين استنادًا إلى متطلبات العملية وظروف الموقع والميزانية، ودعم التخصيص غير القياسي والتوسع المعياري.

اتصل بنا للحصول على حلول مخصصة
مخطط هيكل نظام صندوق القفازات

حالات التطبيق

صورة حالة منصة حلول التعبئة والتغليف المتقدمة
الحالة 01
منصة حلول التعبئة والتغليف المتقدمة

إنشاء منصة تعبئة على نطاق الرقائق في بيئة منخفضة الماء والأكسجين لشركة تعبئة رأسية لتحقيق ظروف عملية مستقرة وتناسق أعلى للمنتج النهائي.

عرض التفاصيل
صورة حالة خط إنتاج تعبئة وتغليف الأفلام OLED
الحالة 02
خط إنتاج التعبئة والتغليف بالأغشية الرقيقة OLED

دمج وحدات المعالجة مثل اختبار التبخر والتعبئة والشيخوخة، وهي متوافقة مع الركائز متعددة الأحجام لتلبية احتياجات الإنتاج الضخم لأجهزة العرض المتطورة.

عرض التفاصيل
صورة حالة الخط التجريبي للبحث والتطوير في البيروفسكايت
الحالة 03
الخط التجريبي للبحث والتطوير للبيروفسكايت

توفير بيئة خاملة مستقرة ويمكن التحكم فيها للبحث والتطوير والاختبار التجريبي لبطاريات البيروفسكايت، ودعم تطوير العمليات الرئيسية مثل الطلاء بالدوران والتليين والتعبئة.

عرض التفاصيل
صورة علبة منصة صندوق القفازات للمواد الإلكترونية
الحالة 04
منصة صندوق القفازات للمواد الإلكترونية

يستخدم لبطارية الليثيوم/الإلكتروليت الصلب/السلائف العضوية المعدنية وأبحاث المواد الأخرى، مما يوفر أكسجين مائي منخفض للغاية وبيئة تجريبية عالية النظافة. يمكن

عرض التفاصيل

الأسئلة الشائعة

يمكن للحل القياسي تحقيق O₂ ≥ 0.1 جزء في المليون، H₂O ≥ 0.1 جزء في المليون، ويمكن أن تصل قيمة نقطة الندى النموذجية إلى ≥ -80 ℃. للحصول على متطلبات نقاء أعلى، يمكن تخصيصه بشكل أكبر من خلال ترقيات الوحدة وتحسين الختم.
من خلال نظام تنقية الدورة الدموية، وتصميم ضيق الهواء، والمحلل عبر الإنترنت ومنطق التجديد التلقائي الذي يعمل معًا، جنبًا إلى جنب مع خطة الصيانة، يمكن تحقيق بيئة منخفضة المياه ومنخفضة الأكسجين مستقرة على المدى الطويل.
مدعوم. يمكنها توفير واجهات عبر الإنترنت وحلول نقل المواد وحلول اتصالات البيانات استنادًا إلى التبخر وALD وطلاء الدوران والاختبار والنقل ومعدات العمليات الأخرى لتشكيل خط إنتاج كامل أو منصة تجريبية.
تعتمد المعدات هيكل إغلاق عالي المستوى، واختبار صارم لمعدل التسرب وتصميم محسّن للأجزاء الرئيسية، وتدعم المعايرة الدورية لضمان إحكام النظام واتساقه في التشغيل على المدى الطويل.
يدعم التكوين القياسي النظافة من الفئة ISO 3، ويمكن أن يوفر حلولًا مخصصة بمستويات نظافة أعلى من خلال الترشيح وتنظيم تدفق الهواء والتحكم في المواد وفقًا لمتطلبات المشروع.
نعم. يمكن لـ TENCAN توفير أنظمة البحث والتطوير والإنتاج التجريبي والضخم، ودعم تكامل المحطات المتعددة والوحدات المتعددة وتوسيع القدرات، وتلبية متطلبات التحقق من العملية ودورة الإنتاج في مراحل مختلفة.
تعتمد فترات الصيانة على تكرار الاستخدام وحمل العملية والظروف البيئية. من الشائع إجراء فحص واستبدال منتظم للمرشحات والقفازات والأختام ومواد التنقية، وسوف نقدم نصائح الصيانة الكاملة والتدريب.
مدعوم. يمكن تخصيص هيكل الخزانة وعدد الوحدات والواجهات والمعدات الداعمة بمرونة وفقًا لتدفق العملية وحجم المساحة واتجاه تدفق المواد ودرجة الأتمتة ومتطلبات الميزانية.
استشارة الحلول

اعثر على حل صندوق القفازات المناسب لاحتياجاتك

أخبرنا عن تطبيقك وحجم الحجرة ومتطلبات H2O/O2 أو متطلبات التكامل، وسيقترح مهندسونا تكوينًا مناسبًا.

  • تتوفر المنتجات القياسية وخدمات التكامل المخصص
  • تُحفظ تفاصيل متطلباتك بسرية تامة
خبير الاستشارات التقنية
هل لديك أسئلة أخرى؟ تواصل مع خبرائنا التقنيين!