TENCAN ofrece productos para semiconductores y OLED El sistema de caja de guantes de atmósfera controlada desarrollado y producido en masa con perovskita ayuda a los clientes a lograr un entorno de proceso estable y controlable con bajo contenido de agua, oxígeno y partículas, y proporciona soporte integrado desde el laboratorio hasta la producción piloto y en masa para la fabricación de materiales sensibles y dispositivos de precisión.
Los semiconductores, los OLED y los materiales de perovskita son extremadamente sensibles a la humedad y al oxígeno, y pequeñas cantidades de contaminación pueden provocar una degradación del rendimiento, fallas en el empaque o una vida útil más corta.
La contaminación por partículas, materia orgánica e iones metálicos afectará la uniformidad de la película, la calidad de la interfaz y el rendimiento eléctrico, y debe controlarse dentro de un rango limpio y trazable.
Las fluctuaciones de temperatura y humedad, las fugas atmosféricas y la ventilación desigual afectarán directamente la consistencia y reproducibilidad de la deposición, la evaporación, el embalaje y las pruebas.
Desde la investigación y el desarrollo hasta la producción en masa, los equipos requieren mayor estabilidad, trazabilidad y coherencia entre lotes, y los costos de verificación y mantenimiento también aumentan.
La operación de gas inerte, módulos de vacío y materiales sensibles requiere tener en cuenta el sellado del sistema, la protección de seguridad, la eficiencia de operación y mantenimiento y los requisitos estándar de la industria.
Mantiene un punto de rocío estable ≤ -80 ℃ y un contenido de oxígeno ≤ 0,1 ppm, inhibiendo eficazmente la degradación y las reacciones secundarias del agua y el oxígeno en materiales sensibles.
Admite el control de limpieza ISO Clase 3 para reducir la contaminación orgánica y de partículas y garantizar el rendimiento y la consistencia del dispositivo.
Embalaje y sellado completos en una atmósfera inerte para bloquear la entrada de agua y oxígeno, prolongar la vida útil del dispositivo y mejorar la estabilidad.
Admite la integración en línea de evaporación, medición, ALD, limpieza, pruebas y otros equipos para formar una solución de proceso completa.
Controle con precisión la presión, los tiempos de intercambio de aire y la pureza del gas para garantizar que el proceso sea repetible, rastreable y optimizable.
TENCAN ofrece sistemas de cajas de guantes personalizados y servicios de integración de procesos para ayudar a los clientes en los campos de semiconductores, OLED y perovskita a lograr mayores rendimientos e iteraciones de I+D más rápidas.
Proporcione soluciones de configuración de sistemas de guanteras eficientes y confiables para diferentes escenarios de aplicaciones, respaldando la implementación de múltiples niveles desde investigación y desarrollo de laboratorio hasta pruebas piloto y producción en masa.
| Escenarios de aplicación | semiconductor Proceso y envasado de alta pureza |
OLED Evaporación y envasado |
Perovskita I+D y pruebas piloto |
|---|---|---|---|
| Proceso típico | Embalaje de obleas/MEMS/dispositivos de alimentación | Pruebas de evaporación/envasado/dispositivo | Síntesis de materiales/preparación de dispositivos/pruebas de embalaje |
| Contenido de oxígeno (O₂) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Contenido de agua (H₂O) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 1 ppm |
| Punto de rocío | ≤ -80 ℃ | ≤ -80 ℃ | ≤ -60 ℃ |
| Sistema de purificación de circulación | Eliminación eficiente de oxígeno y agua | Eliminación eficiente de oxígeno y agua | Eliminación estándar de oxígeno y agua |
| Presión del sistema | +10 ~ +30 Pa | +5 ~ +20 Pa | +5 ~ +20 Pa |
| Modelos recomendados | Serie TG-SEM | Serie TG-OLED | Serie TG-PSC |
| Módulos opcionales | Cabina de transferencia al vacío/transferencia rápida | Interfaz de evaporación/evaporación por haz de electrones | Módulo de procesamiento de solución/recubrimiento por rotación |
| Escala aplicable | Producción en masa/prueba piloto | Producción en masa/prueba piloto | I+D/escala piloto |
Podemos proporcionar soluciones personalizadas de diseño y configuración de sistemas basadas en los requisitos del proceso, las condiciones del sitio y el presupuesto, y admitir personalización no estándar y expansión modular.
Contáctenos para soluciones personalizadas
Cree una plataforma de envasado a nivel de chip en un entorno con bajo nivel de agua y oxígeno para que una empresa de envasado principal logre condiciones de proceso estables y una mayor consistencia de los productos terminados.
Ver detalles
Integran unidades de proceso como pruebas de evaporación, embalaje y envejecimiento, y son compatibles con sustratos de varios tamaños para satisfacer las necesidades de producción en masa de dispositivos de visualización de alta gama.
Ver detalles
Proporcione un entorno inerte estable y controlable para la investigación y el desarrollo de baterías de perovskita y pruebas piloto, y respalde el desarrollo de procesos clave como el recubrimiento por rotación, el recocido y el empaquetado.
Ver detalles
Se utiliza para la investigación de materiales como baterías de litio/electrolitos sólidos/precursores orgánicos metálicos, proporcionando oxígeno en agua ultrabajo y un entorno experimental de alta limpieza.
Ver detallesCuéntenos sobre su aplicación, tamaño de cámara, especificaciones de H2O/O2 o requisitos de integración, y nuestros ingenieros le recomendarán una configuración adecuada.
