TENCAN fournit des produits pour les semi-conducteurs et les OLED Le système de boîte à gants à atmosphère contrôlée développé et produit en série avec de la pérovskite aide les clients à obtenir un environnement de processus stable et contrôlable à faible teneur en eau, en oxygène et en particules, et fournit un support intégré du laboratoire au pilote et à la production de masse pour la fabrication de matériaux sensibles et d'appareils de précision.
Les semi-conducteurs, les OLED et les matériaux pérovskites sont extrêmement sensibles à l'humidité et à l'oxygène, et des traces de contamination peuvent entraîner une dégradation des performances, une défaillance de l'emballage ou une durée de vie raccourcie.
La contamination par les particules, les matières organiques et les ions métalliques affectera l'uniformité du film, la qualité de l'interface et les performances électriques, et doit être contrôlée dans une plage propre et traçable.
Les fluctuations de température et d'humidité, les fuites atmosphériques et la ventilation inégale affecteront directement la cohérence et la reproductibilité du dépôt, de l'évaporation, de l'emballage et des tests.
De la R&D à la production de masse, les équipements nécessitent une stabilité, une traçabilité et une cohérence d'un lot à l'autre plus élevées, et les coûts de vérification et de maintenance augmentent également.
Le fonctionnement de gaz inertes, de modules à vide et de matériaux sensibles nécessite la prise en compte de l'étanchéité du système, de la protection de sécurité, de l'efficacité de l'exploitation et de la maintenance ainsi que des exigences des normes industrielles.
Maintenir un point de rosée stable ≤ -80 ℃ et une teneur en oxygène ≤ 0,1 ppm, inhibant efficacement la dégradation et les réactions secondaires de l'eau et de l'oxygène sur les matériaux sensibles.
Prend en charge le contrôle de propreté ISO classe 3 pour réduire la contamination particulaire et organique et garantir le rendement et la cohérence de l'appareil.
Emballage complet et scellage dans une atmosphère inerte pour bloquer l'intrusion d'eau et d'oxygène, prolonger la durée de vie de l'appareil et améliorer la stabilité.
Prend en charge l'intégration en ligne de l'évaporation, de la mesure, de l'ALD, du nettoyage, des tests et d'autres équipements pour former une solution de processus complète.
Contrôlez avec précision la pression, les temps d'échange d'air et la pureté du gaz pour garantir que le processus est reproductible, traçable et optimisable.
TENCAN fournit des systèmes de boîtes à gants personnalisés et des services d'intégration de processus pour aider les clients des domaines des semi-conducteurs, des OLED et de la pérovskite à obtenir des rendements plus élevés et des itérations de R&D plus rapides.
Fournir des solutions de configuration de système de boîte à gants efficaces et fiables pour différents scénarios d'application, prenant en charge le déploiement à plusieurs niveaux, depuis la recherche et le développement en laboratoire jusqu'aux tests pilotes et à la production de masse.
| Scénarios d'application | Semi-conducteur Processus et emballage de haute pureté |
OLED Évaporation et emballage |
Pérovskite R&D et tests pilotes |
|---|---|---|---|
| Processus typique | Emballage de plaquettes/MEMS/dispositifs d'alimentation | Evaporation/emballage/test des appareils | Synthèse de matériaux/préparation de dispositifs/tests d'emballage |
| Teneur en oxygène (O₂) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Contenu en eau (H₂O) | ≤ 0.1 ppm | ≤ 0.1 ppm | ≤ 1 ppm |
| Point de rosée | ≤ -80 ℃ | ≤ -80 ℃ | ≤ -60 ℃ |
| Système de purification par circulation | Élimination efficace de l'oxygène et de l'eau | Élimination efficace de l'oxygène et de l'eau | Élimination standard de l'oxygène et de l'eau |
| Pression du système | +10 ~ +30 Pa | +5 ~ +20 Pa | +5 ~ +20 Pa |
| Modèles recommandés | Série TG-SEM | Série TG-OLED | Série TG-PSC |
| Modules optionnels | Cabine de transfert sous vide/transfert rapide | Interface d'évaporation/évaporation par faisceau d'électrons | Module de traitement de solution/revêtement par rotation |
| Échelle applicable | Production de masse/essai pilote | Production de masse/essai pilote | R&D/échelle pilote |
Nous pouvons fournir des solutions personnalisées de conception et de configuration de systèmes basées sur les exigences du processus, les conditions du site et le budget, et prendre en charge la personnalisation non standard et l'expansion modulaire.
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Intégrez des unités de traitement telles que les tests d'évaporation, d'emballage et de vieillissement, et êtes compatible avec des substrats multi-tailles pour répondre aux besoins de production de masse de dispositifs d'affichage haut de gamme.
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Fournir un environnement inerte stable et contrôlable pour la R&D et les tests pilotes sur les batteries à pérovskite, et soutenir le développement de processus clés tels que le revêtement par centrifugation, le recuit et l'emballage.
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Utilisé pour la recherche sur des matériaux tels que les batteries au lithium/électrolytes solides/précurseurs organiques métalliques, fournissant un environnement expérimental à très faible teneur en oxygène dans l'eau et à haute propreté.
Afficher les détailsIndiquez-nous votre application, la taille de chambre, les spécifications H2O/O2 ou vos besoins d’intégration ; nos ingénieurs vous recommanderont une configuration adaptée.
