知識

気体および液体フィードスルーとは何ですか?グローブボックス内に気体や液体を導入するための密閉接続装置

気体および液体フィードスルーは、グローブ ボックス環境への気体および液体の安全かつ密閉された移送を可能にする特殊なアクセサリです。必要なユーティリティを内部機器に接続しながら、漏れを防止して不活性雰囲気を維持します。この記事ではその機能や種類、選び方の基準について解説します。

2026/08/31TENCAN0 書籍
FAQ KNOWLEDGE

質問の回答

気体および液体フィードスルーとは何ですか?

本質的に、気体および液体フィードスルーは、内部の不活性雰囲気を維持しながら、グローブ ボックスに気体または液体を安全に導入するように設計された特殊なシール装置です。リチウム電池研究、OLED 製造、化学合成などの分野の研究者やエンジニアは、超低酸素および低湿度環境を損なうことなく、外部ガス ライン、冷却剤ホース、または試薬供給装置をグローブ ボックス内の機器に接続するためにこれを使用します。

グローブボックス用のガスおよび液体フィードスルー

気体と液体のフィードスルーはどのように機能しますか?

フィードスルーは、外部雰囲気とグローブ ボックス内部の間に密閉バリアを形成します。通常、1 つ以上の貫通穴を備えた金属またはポリマーの本体で構成され、各貫通穴は圧縮フィッティング、O リング、または溶接ジョイントで密閉されています。グローブ ボックスのポートに取り付ける場合、 グローブポート、フィードスルーは、チューブやパイプの通過を可能にしながら、酸素、水分、または汚染物質の漏れを防ぎます。密閉機構は非常に重要です。わずかな漏れでもグローブ ボックス内の水と酸素のレベルが上昇し、繊細な実験が台無しになる可能性があります。

ほとんどのフィードスルーは、KF (クライン フランジ) フィッティングなどの標準的な真空コンポーネントで動作するように設計されています。たとえば、 KF真空クランプ そして ステンレス鋼ベローズ フィードスルーをグローブ ボックスの壁に接続するために使用できます。内部通路は、ガスの場合は滑らかなボア、液体の場合はより小さな直径のチューブであり、構造材料 (例: 304 ステンレス鋼、真鍮、または PTFE) は、用途の化学的適合性と温度要件に基づいて選択されます。

種類と構成

ガスおよび液体フィードスルーは、さまざまなニーズに合わせていくつかの構成で利用可能です:

  • シングルポートフィードスルー: 単一のチューブまたはライン用に設計されており、単純なガス供給または時折の液体追加に最適です。
  • マルチポートフィードスルー: 複数のラインが 1 つのポートを通過できるようにすることで、スペースを節約し、グローブ ボックスへの貫通回数を減らします。
  • KF フランジ貫通部: 迅速な取り付けと取り外しのために、標準の KF フランジ (KF16、KF25、KF40 など) を使用します。これらは真空システムやグローブ ボックスで一般的です。
  • 電気フィードスルー: 気体/液体用ではありませんが、電気信号にも同様の設計が存在します。 BNCフィードスルー または イーサネットフィードスルー.

高純度が必要な用途の場合、フィードスルーは全金属シールを備えた電解研磨されたステンレス鋼で作られる場合があります。腐食性流体の場合は、PTFE または PVDF バージョンをご利用いただけます。

主要な選択基準

グローブ ボックス用のガスおよび液体フィードスルーを選択するときは、次の要素を考慮してください。:

  • リーク率: 最も重要なパラメータ。高品質のフィードスルーは、グローブ ボックスの雰囲気を保護するために、リーク率が 1×10-9 mbar・L/s 未満である必要があります。
  • 材質の適合性: 接液材料 (本体、シール、チューブ) が使用するガスまたは液体と適合していることを確認してください。腐食性の化学薬品の場合は、PTFE またはハステロイが必要になる場合があります。
  • 圧力および温度範囲: フィードスルーは、動作圧力 (通常、大気に対して±1 bar) およびプロセス流体または近くのヒーターからの極端な温度に耐える必要があります。
  • ポートサイズと接続形式: フィードスルーをグローブ ボックスのポート直径に合わせます。一般的なポート サイズは 360 mm と 150 mm で、フィードスルーには ポートカバー アダプタ。
  • 通路数: 必要な個別の行の数を決定します。マルチポートフィードスルーにより貫通の数が減り、シールとメンテナンスが簡素化されます。

グローブボックスシステムでの応用

ガスおよび液体フィードスルーは、外部ユーティリティを必要とするほぼすべてのグローブ ボックス アプリケーションで使用されます。一般的な例としては、次のようなものがあります。:

  • 不活性ガスの供給: アルゴンまたは窒素を導入してグローブ ボックスの雰囲気を維持します。
  • クーラント循環: 再循環チラーを接続して内部機器を冷却する 精密冷水チラー.
  • 試薬の追加: 密閉を破ることなく、グローブ ボックス内の反応容器に液体反応物または溶媒を追加します。
  • 真空ライン: 接続する 真空ポンプ 乾燥または脱気プロセスに。
  • 分析機器: にガスを供給する 水分計 または 酸素分析計 継続的な監視のために。

研究室では、リチウム金属、ペロブスカイト、有機半導体などの敏感な材料に必要な低酸素、低水分の条件を維持しながら、複雑な実験を可能にするためにフィードスルーが不可欠です。

さらに技術サポートが必要ですか?

貴社の装置モデル、材料システム、プロセス条件をお知らせください。適切な通信方向を確認するお手伝いをいたします。

ソリューション相談

用途に適したグローブボックスソリューション

用途、チャンバー寸法、H2O/O2指標、または統合要件をお知らせください。エンジニアが選定をご提案します。

  • 標準製品およびカスタム統合に対応
  • ご要望に関する情報は厳重に秘密保持します
技術相談の専門家
ご不明点はございますか?技術専門家にお気軽にご相談ください。